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百级无尘烤箱

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  • 产品名称:百级无尘烤箱
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简单介绍

百级无尘烤箱,制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。Class 100 Clean Ovens

产品描述

一.百级无尘烤箱用途:
PVC无尘烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。


二.百级无尘烤箱特点:
1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,Class 100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)
4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到最佳温度控制精度。

型号  温度范围 内容积 其它参数 内尺寸
(W×H×Dmm)
外尺寸
(W×H×Dmm)
PVC-178 (RT+60)~+200℃ 178L 洁净度:100级 580×530×580 770×1,280×1,025
PVC-380 (RT+60)~+200℃ 380L 洁净度:100级 580×1130×580 770×1,880×1,025
PVC-678 (RT+60)~+200℃ 678L 洁净度:100级 800×1130×750 1,030×1,880×1,025
PVHC-178 (RT+60)~+350℃ 178L 洁净度:100级 580×530×580 770×1,280×1,025
PVHC-380 (RT+60)~+350℃ 380L 洁净度:100级 580×1,130×580 770×1,880×1,025
PVHC-678 (RT+60)~+350℃ 678L 洁净度:100级 800×1,130×750 1030×1,880×1,210
PVHC-347MS (RT+60)~+300℃ 347L 洁净度:100级 580×1,130×530 770×1,880×1,025
PVHC-633MS (RT+60~+300℃ 633L 洁净度:100级 800×1,130×700 1,030×1,880×1,210

2、百级无尘烤箱箱体结构:
   烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成,结构合理,外观美观大方;
   箱体材料:外箱采用SUS304 ,1.5mm之拉丝不锈钢,并经碱性苏打水清洁,可防止微尘;
   内胆材料:采用优质SUS304,2.0mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE;
   中桶材料:采用优质SUS304,2.0mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。


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